[16a-Z23-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[16a-Z23-4] β-(Fe_1-xRu_x)Si₂多結晶薄膜の作製と発光特性評価

〇(B)吉原 怜¹、西 大樹¹、寺井 慶和¹ (1.九工大情報工)

キーワード：β-FeSi2、混晶半導体、シリサイド半導体

これまで我々はβ-FeSi₂のバンド間遷移確率の増大を目的に，Feの一部をRuに置換したx＝0.35までのβ-(Fe_1-xRu_x)Si₂多結晶薄膜を作製し，べガード則に従うことを確認した．本研究では，Ru添加量をさらに増加させるとともに，作製したβ-(Fe_1-xRu_x)Si₂多結晶薄膜の発光特性を評価した．