[16a-Z23-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[16a-Z23-5] メカノケミカル効果を活用した近接蒸着法によるBaSi₂成膜

〇原 康祐¹、山本 千綾²、山中 淳二²、有元 圭介¹ (1.山梨大クリスタル研、2.山梨大機器分析)

キーワード：バリウムシリサイド、メカニカルアロイング、薄膜

近接蒸着法は高速で大面積に展開可能なBaSi₂の成膜法であるが、その成膜温度は1000 °Cに限られており、熱歪みによるクラック発生という課題があった。本研究は、BaAl₄–Ni原料のメカノケミカル処理によりBaSi₂成膜温度の低減を目指した。その結果、成膜温度を700 °Cまで低下させ、クラックフリーBaSi₂薄膜を作製することに成功した。