[16a-Z23-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[16a-Z23-8] 低速成長したBaSi₂蒸着膜へのin situアニール効果

〇西尾 聡馬¹、森 俊之輔¹、西野 克志¹ (1.徳島大)

キーワード：BaSi2、シリサイド半導体