[16a-Z27-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

[16a-Z27-4] トンネル接合を用いたモノリシック多色 LED の作製と評価

〇森川 創一朗¹、上野 耕平¹、小林 篤¹、藤岡 洋¹ (1.東大生研)

キーワード：GaN、スパッタリング、LED