[16a-Z28-1~11] 2.2 Detection systems

[16a-Z28-3] Development of TES X-ray microcalorimeters for microanalysis of astromaterials

〇(PC)Tasuku Hayashi¹, Yuta Yagi¹, Noriko Yamasaki¹, Kazuhisa Mitsuda², Keisuke Maehata³, Toru Hara⁴ (1.ISAS/JAXA, 2.NAOJ, 3.Teikyo Univ., 4.NIMS)

Keywords:TES X-ray microcalorimeter, STEM, EDS

我々の研究グループでは、サブマイクロスケールでの地球外物質分析を目指し、超伝導遷移端型X線マイクロカロリメータ(TESカロリメータ)を走査透過型電子顕微鏡のX線検出器として開発している。地球外物質では、軽元素(B,C,Oなど)から重元素(Fe, Ptなど)までの元素分析を可能とする幅広いX線帯域が必要となり、我々は、50eVから15keVまで特性X線の高い検出効率が可能となる特殊なTESカロリメータの開発し、B(~183eV)で30%の検出効率の向上を達成した。