[16a-Z28-1~11] 2.2 検出器開発

[16a-Z28-3] サブマイクロスケールでの地球外物質分析を目指した広帯域での検出効率向上を可能とするTES型X線マイクロカロリメータの開発

〇(PC)林 佑¹、八木 雄大¹、山崎 典子¹、満田 和久²、前畑 京介³、原 徹⁴ (1.宇宙研、2.天文台、3.帝京大、4.物材研)

キーワード：TES型X線マイクロカロリメータ、走査透過型電子顕微鏡、エネルギー分散分光法

我々の研究グループでは、サブマイクロスケールでの地球外物質分析を目指し、超伝導遷移端型X線マイクロカロリメータ(TESカロリメータ)を走査透過型電子顕微鏡のX線検出器として開発している。地球外物質では、軽元素(B,C,Oなど)から重元素(Fe, Ptなど)までの元素分析を可能とする幅広いX線帯域が必要となり、我々は、50eVから15keVまで特性X線の高い検出効率が可能となる特殊なTESカロリメータの開発し、B(~183eV)で30%の検出効率の向上を達成した。