[16a-Z30-1~11] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

[16a-Z30-3] アルコールCVDによるCNT合成におけるアルミナ基板の粗さの影響

〇河内 稜¹、原 正則¹、吉村 雅満¹ (1.豊田工大院工)

キーワード：カーボンナノチューブ、化学気相成長法

私はカーボンナノチューブを成長させる基板に着目し、その組成と表面粗さとカーボンナノチューブの関係を調べた。基板の作製にはスパッタリングによるアルミニウムの蒸着だけでなく、ALDを用いたアルミナ層の製膜、および水酸化ナトリウムを用いたエッチングを行った。それらの基板を用い、アークプラズマ蒸着による触媒担持と化学気相成長法を行い、カーボンナノチューブを成長させた。