[16a-Z34-1~11] CS.1 Code-sharing Session of 2.4 & 7.5

[16a-Z34-1] Au nanowires grown by thermal evaporation of Au on a Si substrate irradiated with low-energy Ar ions

〇(M2)Hitomi Mizutani¹, Katsumi Takahiro¹ (1.Kyoto Inst. Tech.)

Keywords:nanowire, ion beam

我々はSi基板上に金属ナノ粒子を作製し、ナノ粒子のスパッタ収率を測定している。スパッタ収率の粒径依存性を求めるためには、粒径の揃ったナノ粒子の作製が必要である。粒径の均一化には、Si基板の前処理が有効であると考え、低エネルギーArイオン照射したSi基板にAuを真空蒸着したところ、イオン照射周縁部にAuナノワイヤ（NWs）の形成が見出された。イオン照射量およびエネルギーとAu NW成長の関係について報告する。