[16a-Z34-1~11] CS.1 2.4 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

[16a-Z34-10] TOF-SIMS応用に向けたパルスソース型の真空エレクトロスプレー液滴イオンビーム発生装置に関する検討

〇二宮 啓¹、川瀬 幹大¹、相模 杜武¹、チェン リーチュイン¹、平岡 賢三¹ (1.山梨大工)

キーワード：エレクトロスプレー、二次イオン質量分析

我々は真空エレクトロスプレー液滴イオン(V-EDI)ビームを飛行時間型二次イオン質量分析(TOF-SIMS)の一次イオンビームとして利用するための研究を進めている。一般的なTOF-SIMS装置では一次イオンビームを数10ナノ秒以下に短パルス化する必要があるが、V-EDIビームは短パルス化できていない。そこでV-EDIビームの発生源を短パルス化するための予備的研究を行った。