[16a-Z34-1~11] CS.1 2.4 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

[16a-Z34-7] 低速He⁺イオン散乱分光とパルスジェット法の組み合わせによる駆動中ガスセンサの最表面構造解析に関する検討

〇鈴木 拓¹、安達 裕¹、大垣 武¹、坂口 勲¹ (1.物材機構)

キーワード：ガスセンサ、イオン散乱、酸化亜鉛

ガスセンサの開発には、動作環境中（大気圧、数百℃、ppmの被検ガス濃度）での最表面分析が不可欠だが、これは容易ではない。我々はそのような分析法の確立を目指して、LEISとパルスジェット法との組合わせについて検討を重ねている。本研究では、①パルスジェット法により静圧大気圧下と同様のセンサ応答が得られるかどうか、②LEISによりセンシングに由来する信号を検出できるかどうか、の2点に関して検討を行った。