[16p-P07-1~5] 9.1 Dielectrics, ferroelectrics

[16p-P07-1] First-principles evaluation of piezoelectric properties in Mg+W doped AlN

〇(M1C)Tomoya Toyofuku¹, Kenji Hirata², Sri Ayu Anggraini², Morito Akiyama², Masato Uehara^1,2, Hiroshi Yamada^1,2 (1.Kyushu Univ., 2.AIST)

Keywords:piezoelectricity, first-principles calculation

本研究では，第一原理計算を用いて，Mg_xW_yAl_1-(x+y)N(x/y=3)における各物性値を計算し，添加元素の組成依存性について調査した．この結果から，Mg+W添加量が増加するに従い，e₃₃は上昇しC₃₃は低下することを確認した．またx+y=0.5でd₃₃はAlNの約6倍の値を示し，AlNへのMg+Wの添加が圧電特性を向上させるために有用であることが示された．