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[16p-P07-1] 第一原理計算によるMg+W添加AlNの圧電特性の調査
キーワード:圧電性、第一原理計算
本研究では,第一原理計算を用いて,MgxWyAl1-(x+y)N(x/y=3)における各物性値を計算し,添加元素の組成依存性について調査した.この結果から,Mg+W添加量が増加するに従い,e33は上昇しC33は低下することを確認した.またx+y=0.5でd33はAlNの約6倍の値を示し,AlNへのMg+Wの添加が圧電特性を向上させるために有用であることが示された.