[16p-P09-1~3] 9.3 ナノエレクトロニクス

[16p-P09-2] 電荷検出器への応用に向けた金属ナノ接合の微細化と伝導特性制御

〇柴田 憲治¹、佐々木 尚人¹、斉藤 大我¹、大塚 朋廣²、平川 一彦³ (1.東北工大、2.東北大通研、3.東大生研・ナノ量子機構)

キーワード：金属量子ポイントコンタクト、電界効果

量子ポイントコンタクト(QPC)は超高感度の電荷検出への応用が可能であり、これまで半導体QPCを用いて量子デバイスにおける量子状態を検出する研究が盛んに行われてきた。一方で金属QPCおいては、伝導度のゲート変調が困難なこともあり、その応用は進んでいない。本研究では、金属QPCの安定的な作製と、固体ゲート絶縁膜を用いた伝導度の電界変調に関する実験を行った。