[16p-Z07-1~11] パワーデバイスの最新動向と今後の展望

[16p-Z07-1] シリコンIGBTの技術動向とスケーリングIGBT

〇平本 俊郎¹、大村 一郎² (1.東大生研、2.九工大)

キーワード：パワートランジスタ、ディジタルゲートドライブ回路、シリコンIGBT

本講演では，シリコンIGBTの技術トレンドを概説するとともに，我々が取り組んできた「スケーリングIGBT」のコンセプトによるSiウェーハキャリア長寿命化，デバイス構造微細化/shallow化，ゲートドライブ回路ディジタル化等の​垂直統合IGBT 技術を紹介する．