[16p-Z07-1~11] パワーデバイスの最新動向と今後の展望

[16p-Z07-8] Mgイオン注入p型GaNにおける超高圧アニール温度の低減化に向けた検討

〇(M1)晝川 十史¹、櫻井 秀樹^1,2,3、藤倉 序章⁴、堀田 昌宏^1,2、Bockowski Michal^2,5、乙木 洋平⁴、加地 徹²、須田 淳^1,2 (1.名大工、2.IMaSS、3.(株)アルバック半電研、4.(株)サイオクス、5.UNIPRESS)

キーワード：窒化ガリウム、Mg イオン注入、超高圧アニール