[16p-Z08-1~17] 3.8 光計測技術・機器

[16p-Z08-11] 統合された周波数コム計測と光干渉断層撮像法の自動光計測

島本 裕基¹、ホアン フランコ¹、ホエル セルバンテス²、長原 一³、香川 景一郎⁴、〇早崎 芳夫¹ (1.宇都宮大、2.グアダラハラ大、3.大阪大、4.静岡大)

キーワード：干渉計、光干渉断層撮像法、光コム

本研究は，光軸方向分解能の向上と計測範囲の拡大の両立させるために，測定分解能と測定範囲の異なる周波数コム計測と光干渉断層撮像法を統合し，自動測定を行う．