2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.8 光計測技術・機器

[16p-Z08-1~17] 3.8 光計測技術・機器

2021年3月16日(火) 13:30 〜 18:15 Z08 (Z08)

大久保 章(産総研)、染川 智弘(レーザー総研)、南川 丈夫(徳島大)

16:30 〜 16:45

[16p-Z08-12] 位相変調光を用いた干渉計による面内多点振動変位計測

松本 空1、藤森 幹矢1、田中 洋介1 (1.農工大工)

キーワード:レーザ干渉計、動的変位計測、多点計測