[16p-Z08-1~17] 3.8 光計測技術・機器

[16p-Z08-3] 分光と偏光を同時測定可能なリング型回折格子

〇(B)鈴木 秀成¹、江本 顕雄¹、古荘 信義²、小山 大介³、石川 真志¹ (1.徳島大、2.林テレンプ、3.同志社大理工)

キーワード：回折格子、偏光計測、分光計測

分光エリプソメトリーは、物質の光学定数や膜厚の精密な測定に応用されている。しかし、それぞれの波長ごとに偏光状態を検出する必要がある。そこで我々は、ランダム配向と一軸配向の分子が交互に周期的に配置された、異方性のある屈折率変調を持つリング型の回折格子を設計、作製した。このリング型回折格子に、白色光を入射させた場合に生じる分光されたリング状の回折光における、偏光に依存した回折特性について、報告する。