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[16p-Z09-12] 光渦レーザー誘起前方転写法によるマイクロパターニング
キーワード:光渦、レーザー誘起前方転写法
光渦を用いたレーザー前方転写法では、光渦の持つ軌道角運動量がドナー薄膜に作用し、ドナーが自転しながら飛翔する「スピンジェット現象」が起こる。「スピンジェット現象」を活用すると、既存のインクジェット方式では吐出できない高粘度液膜でも、pℓスケール体積の微小液滴として吐出できる。本講演では、「スピンジェット現象」に立脚した高解像度イメージング技術の基礎的な実証実験について報告する。