The 68th JSAP Spring Meeting 2021

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Oral presentation

8 Plasma Electronics » 8.8 Division of Plasma Electronics 30th Anniversary Special Session

[16p-Z12-1~17] 8.8 Division of Plasma Electronics 30th Anniversary Special Session

Tue. Mar 16, 2021 1:00 PM - 7:45 PM Z12 (Z12)

Haruaki Akashi(National Defence Academy), Makoto Matsui(Shizuoka Univ.), Hiroshi Kuwahata(Tokai Univ.), Yoshihiro Umezawa(東京エレクトロン宮城)

1:00 PM - 1:30 PM

[16p-Z12-1] [Plasma Electronics Division 30th Anniversary Session Invited Talk] Collaborative Studies on Microplasmas: Opportunities and Potentials

Keiichiro Urabe1 (1.Kyoto Univ.)

Keywords:Plasma, Atmospheric Pressure Plasma, Plasma Diagnostics

プラズマ工学の発展には「同じプラズマ源を多機関が連携して診る・使う」ことが寄与する場合があり,大気圧低温プラズマ研究ではその可搬性の高さから若手研究者でも賄える少ない投資で多彩な連携研究の機会が得られる.固体や液体サンプルと同様にプラズマ源が動くことにより,新しい取り組みが生まれる可能性がある.講演では筆者が関わった連携研究を中心に,これまでの経験や今後の展望について紹介したい.