[16p-Z12-1~17] 8.8 プラズマエレクトロニクス分科会30周年記念特別セッション

[16p-Z12-10] 大気圧リモートプラズマCVDを用いたグラフェンの成長過程

〇(M1)酒井 勇佑¹、竹田 圭吾¹、平松 美根男¹ (1.名城大理工)

キーワード：グラフェン、CVD