2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

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[16p-Z12-1~17] 8.8 プラズマエレクトロニクス分科会30周年記念特別セッション

2021年3月16日(火) 13:00 〜 19:45 Z12 (Z12)

明石 治朗(防衛大)、松井 信(静大)、桑畑 周司(東海大)、梅澤 義弘(東京エレクトロン宮城)

14:00 〜 14:30

[16p-Z12-3] [プラズマエレクトロニクス分科会30周年記念特別セッション招待講演] 熱プラズマ流体・材料プロセス研究を主軸として歩み得てきたもの

茂田 正哉1 (1.阪大接合研)

キーワード:熱プラズマ、流体、材料プロセス

著者は熱プラズマ流体による材料プロセスに興味を持ち研究を続けているが,これまで異なる専門分野の研究グループに属しながら知識とセンスを融合することで,新たな研究展開を図ってきた。講演では,それらの研究成果と照らし合わせながら,著者が熱プラズマ流体・材料プロセス研究を主軸として歩み得てきたものを紹介する。これから研究者を目指す方々にとって何かしらのヒントとなれば幸いである。