[16p-Z15-1~13] 6.6 プローブ顕微鏡

△ [16p-Z15-2] 3D-SFMによるバイアス電圧に依存して変化するイオン液体/金電極界面構造のサブナノスケール３次元観察

〇五十嵐 陽彦¹、吉野 巧¹、榊原 涼¹、宮澤 佳甫^1,2、炭竃 享司²、宮田 一輝^1,2、清水 直³、岩佐 義宏^4,5、福間 剛士^1,2 (1.金大理工、2.金大NanoLSI、3.電中研、4.東大工、5.理研CEMS)

キーワード：原子間力顕微鏡、電気二重層トランジスタ、イオン液体