[16p-Z15-1~13] 6.6 プローブ顕微鏡

[16p-Z15-6] [第5回薄膜・表面物理分科会論文賞受賞記念講演] 光励起多探針技術の開発と低次元半導体評価への応用

〇茂木 裕幸¹、汪 子涵¹、高口 裕平²、遠藤 尚彦²、嵐田 雄介¹、吉田 昭二¹、谷中 淳¹、大井川 治宏¹、宮田 耕充²、武内 修¹、重川 秀実¹ (1.筑波大数理、2.都立大理)

キーワード：マルチプローブSTM、超高速計測、光応答

遷移金属ダイカルコゲナイド系二次元半導体は、今後、単一分子層光電子デバイスへの応用が期待される。本講演では、発表者らが開発した光励起多探針計測システムを用いて、単層面内ヘテロ構造のバンド構造推定や光伝導応答ダイナミクスを計測した結果を紹介する。これにより、光励起下、かつ、複数の導電性AFMやSTM探針を用いて、ps~nsの超高速領域のキャリアダイナミクスまで評価可能となった。本手法は、さらに高度な単分子層光電子デバイスを開発する上でも強力な計測ツールとなることが期待される。