[16p-Z16-1~14] 1.3 新技術・複合新領域

[16p-Z16-2] MOD 法による V1-xCrxO2薄膜の作製

〇(M1)落合 佑多¹、河原 正美²、佐村 剛²、立木 隆¹、内田 貴司¹ (1.防衛大学校理工、2.高純度化学研究所)

キーワード：半導体、酸化バナジウム、ボロメータ