2:15 PM - 2:30 PM
△ [16p-Z25-4] Simulation of energy dependence of heavy-ion-induced SET waveforms with two-photon absorption pulsed laser
Keywords:soft error, the Bessel beam, two-photon absorption process
半導体デバイスソフトエラーの原因となる重イオン入射時の過渡電流波形をパルスレーザよる二光子吸収過程を利用して評価した.低エネルギー酸素イオンがSiPINフォトダイオードに照射された際の電流波形の再現に成功し,加速器のエネルギー条件の隙間を埋めるようなSET波形のエネルギー依存性を再現することに成功した.このエネルギー補完方法は,バルクやSOIのMOSFETに適用できる可能性がある.