The 68th JSAP Spring Meeting 2021

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Oral presentation

13 Semiconductors » 13.1 Fundamental properties, surface and interface, and simulations of Si related materials

[16p-Z25-1~10] 13.1 Fundamental properties, surface and interface, and simulations of Si related materials

Tue. Mar 16, 2021 1:30 PM - 4:15 PM Z25 (Z25)

Nobuya Mori(Osaka Univ.), Takashi Hasunuma(Univ. of Tsukuba)

2:15 PM - 2:30 PM

[16p-Z25-4] Simulation of energy dependence of heavy-ion-induced SET waveforms with two-photon absorption pulsed laser

Tatsuya Karaki1,2, Daisuke Kobayashi2, Kazuyuki Hirose1,2 (1.The Univ. of Tokyo, 2.ISAS/JAXA)

Keywords:soft error, the Bessel beam, two-photon absorption process

半導体デバイスソフトエラーの原因となる重イオン入射時の過渡電流波形をパルスレーザよる二光子吸収過程を利用して評価した.低エネルギー酸素イオンがSiPINフォトダイオードに照射された際の電流波形の再現に成功し,加速器のエネルギー条件の隙間を埋めるようなSET波形のエネルギー依存性を再現することに成功した.このエネルギー補完方法は,バルクやSOIのMOSFETに適用できる可能性がある.