[16p-Z26-1~15] CS.5 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェアセッション

[16p-Z26-11] 高温堆積におけるZrO₂薄膜結晶相の下地依存性

〇永野 丞太郎¹、柴山 茂久¹、坂下 満男¹、中塚 理^1,2 (1.名大院工、2.名大未来研)

キーワード：ZrO2、強誘電性