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[16p-Z27-1] Analysis of AlGaN UVB LD to reduce threshold current density
Keywords:laser diode, ultraviolet, AlGaN
UV LDは材料加工、医療等様々な用途での応用が期待されている。昨年我々は波長298 nmのAlGaN UVB LDを実現した報告を行ったが、閾値電流密度 Jthは25 kA/cm2と高くその低減が課題である。Jthを低減するには各物理パラメータを算出し、因子を分解することが重要である。本研究では、閾値電流密度の共振器長依存性の理論式に関わる各種パラメータをシミュレーション、光学測定、電気特性を解析することで算出したので報告する。