[16p-Z27-1~15] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [16p-Z27-10] AlN微小二重共振器型面発光DUV第二高調波発生デバイスの検討

〇南部 誠明¹、矢野 岳人¹、永田 拓実¹、田辺 凌¹、梅田 颯志¹、市川 修平^1,2、藤原 康文¹、上向井 正裕¹、谷川 智之¹、片山 竜二¹ (1.阪大院工、2.阪大電顕センター)

キーワード：SHG、DUV、面発光

近年、深紫外線（DUV)を用いたウイルス不活性化に大きな注目が集まっている。中でも波長230 nm近傍の光は人体への直接照射が可能である。DUV光源の有力な候補としてAlN(吸収端波長: 210 nm)を用いた第二高調波発生(SHG)デバイスが挙げられ、有人領域での空間殺菌に期待できる。本発表では、AlN微小二重共振器型面発光DUV第二高調波発生デバイスを提案する。