[16p-Z28-1~21] 2.2 検出器開発

[16p-Z28-14] ミストデポジション法で作製した Cs₂AgBiBr₆ 厚膜を用いた X 線検出

〇和田 愼史¹、春田 優貴¹、池之上 卓己¹、三宅 正男¹、平藤 哲司¹ (1.京大院エネ科)

キーワード：ペロブスカイト、鉛フリー、Cs2AgBiBr6

Cs₂AgBiBr₆ は X 線撮像素子の検出母材として注目されているが、その実現に必要な大面積厚膜の作製技術が確立されていない。そこで我々は、大面積化が可能なミストデポジション法による Cs₂AgBiBr₆ 膜の作製に取り組んできた。本手法では、特定の条件下で膜を構成する結晶が基板に垂直に成長した。このような柱状構造を持つ Cs₂AgBiBr₆ 膜を膜厚 90 µm 以上に成長させ、X 線検出器に利用することで、従来の 2 倍以上である 487 μC Gy_air^–1 cm^–2 の検出感度を実現した。