[16p-Z30-1~14] 17.1 Carbon nanotubes & other nanocarbon materials

[16p-Z30-5] Fabrication and high-frequency measurement of inductors with aligned carbon nanotubes

Hiroaki Saga¹, 〇Kei Noda¹, Yuji Awano¹, Daiyu Kondo², Taisuke Iwai² (1.Keio Univ., 2.Fujitsu Lab.)

Keywords:carbon nanotube, inductor

カーボンナノチューブ（CNT）バンプ を用いたマイクロストリップ線路用のインダクタを提案、作製し、その高周波特性評価を実施した。測定された伝送特性から、CNTバンプを用いることで、インダクタのサイズ縮小が可能であることを示す結果が得られた。