[16p-Z30-1~14] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

[16p-Z30-5] 配向カーボンナノチューブインダクタの作製と高周波特性評価

嵯峨 寛彬¹、〇野田 啓¹、粟野 祐二¹、近藤 大雄²、岩井 大介² (1.慶應大理工、2.富士通研)

キーワード：カーボンナノチューブ、インダクタ

カーボンナノチューブ（CNT）バンプ を用いたマイクロストリップ線路用のインダクタを提案、作製し、その高周波特性評価を実施した。測定された伝送特性から、CNTバンプを用いることで、インダクタのサイズ縮小が可能であることを示す結果が得られた。