[16p-Z30-1~14] 17.1 Carbon nanotubes & other nanocarbon materials

△ [16p-Z30-7] NO₂ gas response of bipolar carbon nanotube field effect transistors fabricated using DEP method

〇Takahiro Morita¹, Shota Nakahara¹, Haruka Omachi², Masahumi Inaba¹, Junya Suehiro¹, Michihiko Nakano¹ (1.Kyushu Univ., 2.Nagoya Univ.)

Keywords:Carbon Nanotube, Field Effect Transistors, Gas sensor

我々はチャネル部に半導体単層カーボンナノチューブ を、誘電泳動法を用いて集積した両極性電界効果トランジスタ(CNT-FET)を作製し、NO₂暴露による電流-電圧特性の変化を調査した。
NO₂ 暴露により、I_DS-V_GS 特性がV_GS正の方向にシフトする変化と、V_GSが正の領域において電流が大きく低下する変化が観察された。