[16p-Z30-1~14] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

△ [16p-Z30-7] 誘電泳動法を用いて作製した両極性カーボンナノチューブ電界効果トランジスタのNO₂ ガス応答

〇森田 貴大¹、中原 正太¹、大町 遼²、稲葉 優文¹、末廣 純也¹、中野 道彦¹ (1.九大シス情、2.名大物質センター)

キーワード：カーボンナノチューブ、電界効果トランジスタ、ガスセンサ

我々はチャネル部に半導体単層カーボンナノチューブ を、誘電泳動法を用いて集積した両極性電界効果トランジスタ(CNT-FET)を作製し、NO₂暴露による電流-電圧特性の変化を調査した。
NO₂ 暴露により、I_DS-V_GS 特性がV_GS正の方向にシフトする変化と、V_GSが正の領域において電流が大きく低下する変化が観察された。