[16p-Z31-1~18] 17.2 グラフェン

[16p-Z31-5] 膜厚および結晶性に対するグラフェン歪感度の依存性

武内 勇人^1,2、〇若家 冨士男¹、阿保 智¹、長尾 昌善²、村上 勝久² (1.阪大院基礎工、2.産総研)

キーワード：グラフェン、歪センサー、カンチレバー