[16p-Z32-1~16] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

[16p-Z32-4] Performance Evaluation of Cavity-free Micro Thermoelectric Generator by Electro-thermal Equivalent Circuit Model Including Peltier and Joule Effects

〇Motohiro Tomita¹, Takumi Hoshina¹, Yoshinari Kamakura², Takeo Matsuki^1,3, Takanobu Watanabe¹ (1.Waseda Univ., 2.OIT, 3.AIST)

Keywords:thermoelectric, silicon, semiconductor

我々はこれまで、Si-NWを空中架橋しないTEGを考案し、
等価回路モデルによる数理モデルの作成を行ってきた。
しかし、電気熱混合効果は等価回路モデルに含んでいなかった。
新たに電気熱混合効果を含めた等価回路モデルを作成し、最大変換効率の数式化を行い、
ワイヤ長さを0.1umまで短くことで効率が上昇し、
ゼーベック係数は1mV/K以上になると熱起電流で発生するペルチェ効果によるロスが無視できなくなることがわかった。