[16p-Z32-1~16] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[16p-Z32-5] プレーナ型ユニレグシリコン熱電素子の性能評価と薄膜寸法最適化

〇柳澤 亮人¹、Ruther Patrick²、Paul Oliver²、野村 政宏¹ (1.東大生研、2.フライブルク大学)

キーワード：熱電変換、シリコン、エナジーハーベスト

ナノ構造を作製したシリコン薄膜を用いてプレーナ型ユニレグ熱電発電素子を作製し、ナノ構造部分の幅や長さを変えた試料について抵抗と熱起電力の測定を行い、発電量密度を最大化する寸法の最適化を行った。ナノ構造化薄膜の幅は抵抗と面積のトレードオフの関係から最適化され、長さは熱起電力と抵抗のトレードオフの関係から最適化されることを実験的に明らかにした。