[16p-Z33-1~14] 6.3 Oxide electronics

[16p-Z33-6] Metallic transport properties and electrostatic resistance modulations in LaNiO₃ ultrathin channels electrochemically etched in electric-double-layer transistors

〇Daisuke Kan¹, Takafumi Hatano², Akihiro Abe², Hiroshi Ikuta², Yuichi Shimakawa¹ (1.ICR, Kyoto Univ., 2.Dept. Materials Physics, Nagoya Univ.)

Keywords:electric-double-layer transistors, electric field induced effects, Ni oxides

ペロブスカイト型Ni酸化物LaNiO₃(LNO)をチャネル層とした電気二重層トランジスタを作製し、電気化学的なエッチングで極薄化したLNOの伝導特性を評価した。極薄化してもLNOチャネルは金属伝導特性を維持し、またその金属伝導特性は電界変調できることを見出した