[16p-Z33-1~14] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[16p-Z33-6] 電気二重層トランジスタ構造でエッチングしたLaNiO₃極薄膜における金属伝導と電界変調

〇菅 大介¹、畑野 敬史²、阿部 晃大²、生田 博志²、島川 祐一¹ (1.京大化研、2.名大院工)

キーワード：電気二重層トランジスタ、電界効果、ペロブスカイトNi酸化物

ペロブスカイト型Ni酸化物LaNiO₃(LNO)をチャネル層とした電気二重層トランジスタを作製し、電気化学的なエッチングで極薄化したLNOの伝導特性を評価した。極薄化してもLNOチャネルは金属伝導特性を維持し、またその金属伝導特性は電界変調できることを見出した