[16p-Z34-1~15] CS.1 2.4 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

[16p-Z34-1] 構造材料用マイクロビーム装置における多元素同時分析のためのイオンビーム分析システム

〇笹 公和^1,2、山崎 明義²、石井 聰¹、冨田 成夫²、左高 正雄¹、楢本 洋¹、工藤 博¹ (1.筑波大加速器、2.筑波大数物)

キーワード：マイクロビーム、イオンビーム分析、透過ERDA

構造材料用マイクロビーム装置は、筑波大学6 MVタンデム加速器の0°ビームラインに設置されている。3 ~ 6 MeVの陽子ビームと8 ~ 10 MeVの⁴He²⁺ビームにおいて、約1.5 μmのビーム収束径を達成している。イオンビーム分析システムは、各種の放射線を計測するための検出器を備えており、ビーム照射正面より試料を観察可能となっている。現在、PIXEと透過ERDAによる多元素同時分析法の開発を進めている。