[17a-P05-1~10] 6.3 Oxide electronics

[17a-P05-2] Fabrication and optical properties of vanadium dioxide via mist CVD for smart window application

〇(DC)Yuya Matamura¹, Takumi Ikenoue¹, Masao Miyake¹, Tetsuji Hirato¹ (1.Kyoto Univ.)

Keywords:vanadium dioxide, mist CVD, smart window

二酸化バナジウム (VO₂) が温度に応じて自律的に赤外線透過量を変化させるスマートウィンドウの材料として注目されている。これまで種々の VO₂ 膜作製プロセスが提案されているが、生産性が低いことや成膜コストが高いことが実用化に向けた課題の一つである。本研究では低コストかつ高生産性の成膜プロセスであるミスト CVD 法で、原料溶液の溶媒を検討することにより、他のプロセスと同等の光学特性を示す VO₂ 膜を得た。