[17a-P07-1~8] 6.4 薄膜新材料

[17a-P07-2] イオン液体を利用した酸化タンタル膜の製膜

〇保月 奈々^1,2、神永 健一¹、丸山 伸伍¹、組頭 広志³、高遠 秀尚²、近藤 道雄²、松本 祐司¹ (1.東北大院工、2.産総研(FREA)、3.東北大多元物質科学)

キーワード：イオン液体、酸化タンタル、真空蒸着