[17a-P07-1~8] 6.4 薄膜新材料

[17a-P07-3] パイロクロア型Sn₂Ta₂O₇エピタキシャル薄膜のトポタクティック窒化

〇福本 通孝¹、廣瀬 靖¹、土井 雅人¹、杉澤 悠紀²、関場 大一郎²、長谷川 哲也¹ (1.東大院理、2.UTTAC)

キーワード：透明導電体、トポタクティック反応、酸窒化物