2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[17a-P07-1~8] 6.4 薄膜新材料

2021年3月17日(水) 11:00 〜 11:50 P07 (ポスター)

11:00 〜 11:50

[17a-P07-4] ホウ素ドープ酸化インジウム透明導電膜に対するアニール条件の比較

〇(B)森 峻1、相川 慎也1 (1.工学院大)

キーワード:透明導電膜、アニール、酸化インジウム