[17a-P08-1~5] 6.6 Probe Microscopy

[17a-P08-1] Wideband and Low Noise Phase Lock Loop for High-Speed Frequency Modulation Atomic Force Microscopy

Tsukasa Ohira¹, 〇Masayuki Abe¹ (1.Osaka Univ.)

Keywords:frequency modulation atomic force microscopy, Phase Lock Loop

周波数変調方式原子間力顕微鏡で用いられるPhase Lock Loop（PLL）の高速化に伴うPLL雑音をシミュレーションと実機による測定を比較し、ノイズ低減のための方針を検討した。具体的には、PLL を構成する電圧制御発振器(Voltage Control Oscillator : VCO)と位相比較器(本研究ではアナロ グ型ミキサ)と Loop Filterによって構成されるを構築し、PLLの応答速度とその時の雑音を評価した。