[17a-P08-1~5] 6.6 プローブ顕微鏡

[17a-P08-1] 高速周波数変調原子間力顕微鏡に向けた広帯域・低雑音な位相同期回路

大平 司¹、〇阿部 真之¹ (1.阪大基礎工)

キーワード：周波数変調方式原子間力顕微鏡、フェーズロックループ

周波数変調方式原子間力顕微鏡で用いられるPhase Lock Loop（PLL）の高速化に伴うPLL雑音をシミュレーションと実機による測定を比較し、ノイズ低減のための方針を検討した。具体的には、PLL を構成する電圧制御発振器(Voltage Control Oscillator : VCO)と位相比較器(本研究ではアナロ グ型ミキサ)と Loop Filterによって構成されるを構築し、PLLの応答速度とその時の雑音を評価した。