11:30 AM - 11:45 AM
[17a-Z04-10] Development of Ag2S Based Capacitor Type Thermal Switch Operated by Bias Voltage
Keywords:Thermal Switch, Lattice Thermal Conductivity, Electron Thermal Conductivity
小さな格子熱伝導度(0.5 Wm-1K-1)を持つ縮退半導体Ag2S0.6Se0.4を用いて,バイアス電圧によって電子熱伝導度を変化させるコンデンサ型熱スイッチを開発した.下部電極としてp型Si基盤を用いた.絶縁相としてAg2S,あるいは,SiO2を用いた.バイアス電圧の印加により素子を流れる熱流が大きくなることを確認した.