[17a-Z04-1~11] 1.1 応用物理一般・学際領域

[17a-Z04-10] バイアス電圧で動作するAg₂S系コンデンサ型熱スイッチの開発

〇丸地 智也¹、平田 圭佑¹、松波 雅治¹、竹内 恒博¹ (1.豊田工業大学)

キーワード：熱スイッチ、格子熱伝導度、電子熱伝導度

小さな格子熱伝導度（0.5 Wm^-1K^-1）を持つ縮退半導体Ag₂S_0.6Se_0.4を用いて，バイアス電圧によって電子熱伝導度を変化させるコンデンサ型熱スイッチを開発した．下部電極としてp型Si基盤を用いた．絶縁相としてAg₂S，あるいは，SiO₂を用いた．バイアス電圧の印加により素子を流れる熱流が大きくなることを確認した．