[17a-Z04-1~11] 1.1 応用物理一般・学際領域

[17a-Z04-2] YH₃ を用いたFET の作製及びその電気的特性の評価

〇(M2)藤野 哲也¹、タチャラート ヨドキッティ¹、徳田 正秀¹、中村 修²、酒井 政道³、花尻 達郎¹ (1.東洋大、2.岡山理科大、3.埼大)

キーワード：半導体