[17a-Z04-1~11] 1.1 応用物理一般・学際領域

[17a-Z04-5] SiC フォーカスリングリサイクルのための洗浄方法の検討

〇松本 哲之^2,1、本間 哲哉² (1.キオクシア、2.芝工大)

キーワード：熱間等方加圧法、SiC、大気焼成

CVD プロセスを使用せずにSiC をリサイクルする新しい方法を開発したが、SiC 表面のフロ
ロカーボン膜中に金属残留物が残り、RIE 処理後、ウエハー上に付着する問題が発生している。そのため、SiC表面を酸化し、フッ化水素酸洗浄で酸化膜を除去することで、同時に金属残留物も除去できる。